2023년 3월

차례

I. 코어종료
II. 1020분 시점에서의 예측 제어
III. 기존 운영방법과의 비교

I. 코어종료

코어종료

  • 배경: 코어종료 전인 1020분부터 잦은 공정관측이 수행됨
  • 목적: 공정관측 횟수를 기존보다 줄임
  • 방법: 1020분 시점에서 미래 D50의 변화를 예측해 코어종료 직전 시점을 예측
  • 결과: 공정관측 횟수를 기존 대비 29% 줄일 수 있음 (평균 4.45회 -> 평균 3.14회)

코어종료 시점의 분포

  • 코어종료는 1020분~1350분 사이에서 일어나며, 대부분 경우(98%)에 1080분~1230분 사이에서 종료됨

코어종료 기준의 분포

  • 코어종료 기준은 양산단계에 따라서 몇차례 변화함

II. 1020분에서의 예측 제어

1020분에서의 예측 제어

  • 1020분에 관측된 D50을 기반하여
    1. linear extrapolation
    2. lower bound touch 시점 예측
    3. min(2의 예측 시점 직전, 1140분)에 관측
    4. 종료기준을 만족할때까지 2이후로 30분마다 관측
  • (그림 1)

그림 1

제안방법 예시

  • (22년 8월 6일 A1)
  • Input
    • 1020분 D50 : 12.62
    • 코어종료 기준 : 13.15-13.25
  • Output
    • 코어종료 직전 check 시점 : 1140분
  • 코어종료 절차
    • 1140분 D50 : 13.07
    • 1170분 D50 : 13.18
  • 3번 관측(1020분, 1140분, 1170분)만으로 코어종료
  • 기존의 경우, 5번 관측(1020분, 1080분, 1110분, 1140분, 1170분)함

III. 기존 운영방법과의 비교

관측횟수 비교

  • 대부분 경우(75%)에 2회 혹은 3회의 관측만이 필요
  • 기존에 비해 29.4% 줄어든 관측횟수
    • 평균 4.45회 -> 평균 3.14회
관측횟수 기존방법 제안방법
1 0.1% 0.1%
2 1.5% 18.9%
3 14.5% 56.0%
4 38.0% 19.0%
5 32.5% 4.4%
6 9.8% 0.7%
7이상 3.6% 0.9%

관측횟수 비교

예측제어 오류 사례

  • 926건 중 2건(0.22%)의 사례에서 코어종료 기준 초과
  • 22년 8월 8일 A1
    • 1020분 D50 : 12.70 -> 1140분에 관측 제시
    • 1140분 D50 : 13.31 (0.06 초과)
    • (코어종료 기준 : 13.15-13.25)
  • 22년 10월 2일 B1
    • 1020분 D50 : 12.63 -> 1140분에 관측 제시
    • 1140분 D50 : 13.23 (0.03 초과)
    • (코어종료 기준 : 13.10-13.20)
    • 기존운영에서도 1140분에 코어종료함